Cómo reducir la contaminación por aceite en bombas de difusión de alto-vacío

1. Características de diseño y soluciones de hardware (más importantes)

Instale una trampa de aceite tipo deflector o paraguas-
Un deflector estilo laberinto-entre la salida de la bomba de difusión y la cámara de vacío ayuda a impedir que el vapor de aceite viaje directamente a la cámara.

Utilice una trampa de frío (la solución más eficaz)
Una trampa fría colocada encima de la bomba condensa el vapor de aceite antes de que llegue a la cámara. El enfriamiento puede ser proporcionado por nitrógeno líquido, agua enfriada o un sistema de refrigeración. Esta es una de las formas más efectivas de prevenir el backstreaming.

Seleccione fluidos para bombas de difusión de baja-vapor-presión
Utilice aceites a base de -silicona-de alta calidad, como el fluido para bomba de difusión Dow Corning DC‑704 o el fluido para bomba de difusión Dow Corning DC‑705. Los fluidos con menor presión de vapor reducen significativamente el riesgo de contaminación.

2. Buenas prácticas operativas (a menudo pasadas por alto)

Siga la secuencia correcta de inicio-y apagado.
Deje siempre que la bomba de difusión alcance la temperatura de funcionamiento antes de que comience el bombeo completo. Al apagar, apague primero el calentador y deje que la bomba se enfríe antes de detener la bomba previa. La pérdida repentina del bombeo delantero mientras la bomba está caliente puede provocar un retroceso grave del petróleo.

Nunca ventile la bomba mientras esté caliente.
Admitir aire en una bomba de difusión caliente puede oxidar y degradar rápidamente el aceite de la bomba, produciendo contaminantes y aumentando el riesgo de arrastre de aceite.

Mantener una refrigeración estable y adecuada.
Es esencial un flujo de agua de refrigeración adecuado. Un enfriamiento deficiente reduce la eficiencia de la condensación de vapor y aumenta la probabilidad de que el vapor de petróleo migre aguas arriba.

3. Mantenimiento y cuidados de rutina

Reemplace el aceite de la bomba regularmente
No espere hasta que el aceite se vuelva oscuro o viscoso. El aceite envejecido tiene una presión de vapor más alta y es más propenso a la contaminación y al retroceso.

Mantenga limpio el interior de la bomba
Limpie periódicamente el cuerpo de la bomba, el conjunto del surtidor y los deflectores. Los residuos y depósitos de aceite pueden quedar re-retenidos en la corriente de vapor.

Mantener un buen vacío delantero
Si la presión de la bomba previa es demasiado alta, el chorro de vapor se vuelve inestable, lo que aumenta el retroceso del aceite.

4. Medidas avanzadas para aplicaciones ultra-limpias

Instalar una válvula de aislamiento de alto-vacío
Una válvula entre la cámara y la bomba de difusión permite aislar completamente el sistema cuando la bomba no está en uso, evitando cualquier migración de vapor de aceite.

Utilice bombas-libres de aceite cuando la limpieza sea fundamental
Para aplicaciones como el procesamiento de semiconductores o la óptica de precisión, muchos sistemas reemplazan las bombas de difusión con bombas turbomoleculares, como las producidas por Pfeiffer Vacuum o Edwards Vacuum, para eliminar por completo la contaminación por aceite.